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在芯片的生產過程中,有一類企業雖然沒有直接參與,但卻對整個行業技術的發展起著關鍵性作用,它們就是半導體設備制造商。芯片的制造流程極其復雜,大致可以分為制備硅片、外延工藝、熱氧化、擴散摻雜、離子注入、薄膜制備、光刻、刻蝕、工藝集成等。最廣為人知的荷蘭阿斯麥(ASML)就是主要生產光刻工藝的核心設備——光刻機。除此之外,刻蝕機、薄膜設備、擴散\離子注入設備、濕法設備、過程檢測設備也是必不可少。正是通過這些設備制造商不斷研發生產先進的設備,才使得芯片制造的效率效能大幅提高。


 


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