系統自身的故障診斷和故障定位功能。一般的CNC系統或多或少都具有自診斷功能，尤其是現代的CNC系統，這些自診斷功能主要是用軟件來實現。具有此功能的CNC系統，可以在故障出現后迅速查明故障的類型及部位，減少故障停機時間。通常不同的CNC裝置所設置的診斷程序不同，可以包含在系統程序之中，在系統運行過程中進行檢查，也可以作為服務性程序，在系統運行前或故障停機后進行診斷，查找故障的部位，有的CNC裝置可以進行遠程通訊診斷。
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