這類伺服系統(tǒng)的位置檢測點(diǎn)是從驅(qū)動電機(jī)（常用交直流伺服電機(jī)）或絲杠端引出，通過檢測電機(jī)和絲杠旋轉(zhuǎn)角度來間接檢測工作臺的位移量，而不是直接檢測工作臺的實(shí)際位置。由于在半閉環(huán)環(huán)路內(nèi)不包括或只包括少量機(jī)械傳動環(huán)節(jié)，因此可獲得穩(wěn)定的控制性能，其系統(tǒng)的穩(wěn)定性雖不如開環(huán)系統(tǒng)，但比閉環(huán)要好。另外，由于在位置環(huán)內(nèi)各組成環(huán)節(jié)的誤差可得到某種程度的糾正，而位置環(huán)外的各環(huán)節(jié)如絲杠的螺距誤差、齒輪間隙引起的運(yùn)動誤差均難以消除。因此，其精度比開環(huán)要好，比閉環(huán)要差。但可對這類誤差進(jìn)行補(bǔ)償，因而仍可獲得滿意的精度。半閉環(huán)數(shù)控系統(tǒng)結(jié)構(gòu)簡單、調(diào)試方便、精度也較高，因而在現(xiàn)代CNC機(jī)床中得到了廣泛應(yīng)用。